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第156章 光源与波澜 (第2/2页)

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生波长13.5纳米的EUV光源,功率约250瓦。

随着芯片工艺节点的不断缩小,对EUV光源功率的要求也将不断提升,估计会达到千瓦量级。

而基�

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